RJ-XA型
グローバルな環境規制に対応した半導体製造装置向け低GWP冷媒チラー
製品紹介
- グローバルな環境規制に対応した低GWP* 冷媒(R513A) を採用した半導体製造装置向けチラーです。インバーター制御による消費電力の削減を図れます。
- オプション仕様として、接液部に銅・真鍮素材を使用していない仕様も備えており、腐食によるリスクを低減できます。
スペック
| 型式 | 型式 | 単位 | RJ-XA1V |
| 外形寸法 | 外形寸法 | mm | 375 x 1050 x 1150 |
| 冷却能力(50Hz/60Hz) | 冷却能力(50Hz/60Hz) | kw | 3.7（10℃時） 6.1(20℃時) |
| 温度制御範囲 | 温度制御範囲 | ℃ | 5~40 |
| 温度制御精度 | 温度制御精度 | ℃ | ± 0.1 |
| 質量 | 質量 | kg | 160(循環液、冷却水含まず) |
| 循環液 | 使用流体 | 純水、エチレングリコール 他 | |
| 圧送ポンプ能力 | L/min | 20 (0.49MPa) | |
| 冷却水 | 温度範囲 | ℃ | 10～25 |
| 安全規格 | 安全規格 | SEMI(S2.S8.F47)、CE、NRTL | |
| 電源 | 電源 | V | 三相 200～208 |
| 運転制御方式 | 運転制御方式 | インバータ制御方式 | |
| 使用冷媒 | 使用冷媒 | R513A（GWP：629） |
- ※仕様はご参考です
