RJ-CA型
自然冷媒（CO2）を採用した半導体製造装置向け低温チラー
製品紹介
- 自然冷媒（CO2）を採用した半導体製造装置向けチラーです。超小型キャンドポンプ内蔵・荏原のインバータ制御技術により省スペース・省エネ化をはかれます。
- ±0.1℃の温度制御が可能となりプロセスの安定性向上及び歩留まり向上へ貢献します。
スペック
| 型式 | 型式 | 単位 | RJ-CA1V |
| 外形寸法 | 外形寸法 | mm | 370 x 950 x 1080 |
| 冷却能力(50Hz/60Hz) | 冷却能力(50Hz/60Hz) | kw | 4.0（-10℃時）10.0(20℃時) |
| 温度制御範囲 | 温度制御範囲 | ℃ | -20~70 |
| 温度制御精度 | 温度制御精度 | ℃ | ± 0.1 |
| 質量 | 質量 | kg | 190(循環液、冷却水含まず) |
| 循環液 | 使用流体 | FC-3283、HT135、SF-10 他 | |
| 圧送ポンプ能力 | L/min | 20 (0.76MPa) | |
| 冷却水 | 温度範囲 | ℃ | 10～25 |
| 安全規格 | 安全規格 | SEMI(S2.S8.F47)、CE、NRTL | |
| 電源 | 電源 | V | 三相 200～208 |
| 運転制御方式 | 運転制御方式 | インバータ制御方式 | |
| 使用冷媒 | 使用冷媒 | R744（CO₂ GWP：1） |
- ※仕様はご参考です
