GT型
排水処理不要でヒ素・リンなどの有毒物質処理、乾式除害装置
製品紹介
- GT型は、TLV値以下の高効率処理が可能な乾式排ガス処理装置です。処理対象に応じ適して吸着剤を選択でき、幅広いアプリケーションに対応可能です。ヒ素やリンなどの有害物質を選択的に処理でき、燃料・排水処理が不要なため、燃料ラインや排水処理設備がない実験室などでの使用にも最適です。省エネルギーで高効率処理が可能です。
スペック
| 型式 | 型式 | 単位 | GTE-3-0 | GTE-0-2 | GTC-1-0 | GTC-2-0 | GTC-6-0 | GTC-0-1 |
| 処理方式 | 処理方式 | 乾式 | 乾式 | 乾式 | 乾式 | 乾式 | 乾式 | |
| 最大流入ガス許容量 | 最大流入ガス許容量 | L/min | 100 | 80 | 100 | 100 | 100 | 100 |
| 寸法 Single | 寸法 Single | W x D x H mm | 600x600x2,000 | 900x600x2,000 | 600x600x2,000 | 600x600x2,000 | 600x600x2,000 | 600x600x2,000 |
| 寸法 Dual | 寸法 Dual | W x D x H mm | 900x600x2,000 | - | 900x600x2,000 | 900x600x2,000 | 900x600x2,000 | 900x600x2,000 |
| 処理可能ガス例 | 処理可能ガス例 | HBr、Cl2、BCl3、F2、SiF4、HF、COF2、C5F8、C4F6 など | NF3、N2O、NO、NO2、SiF4、HF、F2 など | SiH4、PH3、AsH3、TMS など | NH3、SiH2Cl2、SiCl4 など | TEOS、TMB、TME、O3 など | ClF3、HF、F2、HCl など |
