EV-X型

製品紹介

• 荏原独自の省エネルギー技術を搭載、自動化工場での製造に最適化されたモジュール設計を採用し、更なる小型化・省エネルギー化を実現した、中負荷プロセス向けドライ真空ポンプです。
• ワイドレンジ温度制御により適用プロセスを拡大。複数のプロセスを同一機種でカバーできるため、予備機在庫の最適化、メンテナンスやトレーニングの手間を軽減し、将来的なプロセス拡張にも柔軟に対応可能です。さらに、プロセスごとに最適な温度コントロールによりプロセス耐性の向上を実現、部品の交換周期長期化によりTCoOの削減に貢献します。
• 対応アプリケーション例：各種エッチング及びCVD、アッシング、イオン注入、エピタキシャル成長など