EV-M型
省エネルギー・高負荷プロセスに最適なドライ真空ポンプ
製品紹介
- 荏原独自の高温化技術により、半導体・液晶・太陽電池製造工程の中で、反応副生成物が発生する高負荷プロセスに対応。高い省エネ性能により、高負荷プロセス対応と省エネルギーを同時に実現しました。耐腐食性材料を標準搭載し、排気量110,000L/minの大排気量モデルもラインナップ。プロセス条件に応じた豊富な製品ラインナップで、幅広い高負荷プロセスに対応可能です。
スペック
| 型式 | 型式 | 単位 | EV-M20N | EV-M102N | EV-M202N | EV-M302N | EV-M502N | EV-M505SF | EV-M802N | EV-M805SF | EV-M1205SF |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 3~8 | 3~8 | 3.5~8 | 4~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| 電源 | 電源容量 | kVA | 3.3 | 5.4 | 6 | 6.8 | 7.1 | 15.7 | 8.3 | 19.4 | 14.2 |
| 排気速度 | 排気速度 | L/min | 1800 | 10000 | 20000 | 30000 | 50000 | 50000 | 80000 | 80000 | 110000 |
| 到達圧力 | 到達圧力 | Pa | 5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 接続口径 | 吸気口 | NW40 | ISO100 | ISO100 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | ISO200 | ISO200 | ISO200 | |
| 排気口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 到達圧力時電力概略値 | 到達圧力時電力概略値 | kW | 1.2 | 1.8 | 1.9 | 2.3 | 2.1 | 3.9 | 2.8 | 4.6 | 5.3 |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 28~33 | 228 | 28~33 | 228 | 34~35 |
| 電源 相／電圧／周波数 | 200Vモデル | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
|
| 400Vモデル | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
- | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
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| 概略質量 | 概略質量 | kg | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | 580 | 740 | 820 | 870 |
