EST型
反応副生成物対応、大流量ガス排気が可能なドライ真空ポンプ
製品紹介
- EST型は、スクリュー型ロータを採用、ポンプ内ガスを高温に保つ高温化機能を搭載し、反応副生成物が形成されるCVDなどの用途に最適です。耐腐食性材料を標準採用、大排気速度かつ大流量排気を実現、ダウンタイムを抑制しプロセスの効率化に貢献します。
スペック
| 型式 | 型式 | 単位 | EST10N | EST25N | EST100WN | EST200WN | EST300WN | EST500WN | EST800WN |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| 電源 | 電源容量 | kVA | 4.6 | 7.3 | 8.2 | 8.5 | 12.7 | 15.1 | 16 |
| 排気速度 | 排気速度 | L/min | 1000 | 2500 | 10000 | 20000 | 30000 | 50000 | 80000 |
| 到達圧力 | 到達圧力 | Pa | 2.7 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.5 |
| 接続口径 | 吸気口 | NW40 | NW40 | NW50 | NW100 | NW100 | ISO160 | ISO200 | |
| 排気口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 到達圧力時電力概略値 | 到達圧力時電力概略値 | kW | 2.3 | 3 | 3.2 | 3.2 | 4.5 | 4.6 | 4.6 |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 13~18 | 13~18 | 24~29 | 24~29 | 28~31 | 28~31 | 28~31 |
| 電源 相／電圧／周波数 | 200Vモデル | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
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| 400Vモデル | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
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| 概略質量 | 概略質量 | kg | 260 | 300 | 380 | 430 | 500 | 550 | 840 |
