ESR型
腐食性プロセス対応、省エネルギーのドライ真空ポンプ
製品紹介
- 独自のロータ設計とアイドリング機能により省エネルギーかつ小型化を実現。ランニングコストの削減に貢献します。また、耐腐食性材料オプションを選択でき、ロードロック・SEMなどの軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションに対応可能です。
スペック
| 型式 | 型式 | 単位 | ESR20N | ESR30 | ESR30N | ESR500W(N) |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 2~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| 電源 | 電源容量 | kVA | 4 | 7 | 7 | 12.3 |
| 排気速度 | 排気速度 | L/min | 1,300 ~ 2,000 | 3000 | 3000 | 46000 |
| 到達圧力 | 到達圧力 | Pa | 2 | 0.53 | 0.67 | 0.2 |
| 接続口径 | 吸気口 | NW40 | NW50 | NW50 | ISO160 | |
| 排気口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 到達圧力時電力概略値 | 到達圧力時電力概略値 | kW | 0.7 | 1.7 | 1.7 | 3.1 |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 19~22 (0) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) |
| 電源 相／電圧／周波数 | 200Vモデル | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
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| 400Vモデル | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
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| 概略質量 | 概略質量 | kg | 90 | 190 | 190 | 500 |
