ESA型
水素などの軽ガス排気対応／大型チャンバの高速排気対応可能なドライ真空ポンプ
製品紹介
- ESA型は、水素などの軽ガス排気に適した排気量1,400L/min ~ 10,000L/minモデル、大型チャンバの高速排気に適した排気量20,000L/min~ 80,000L/minのモデルをラインナップしています。軽ガス排気に適した10,000L/min以下のモデルは、コンパクト設計で耐腐食性材料オプションを選択可能、MO-CVD等の大流量軽ガス排気用途に最適です。大型モデルは大排気量ながら静音・低振動を実現、有機溶剤排気用オプションも選択でき、LCDスパッタ装置・真空乾燥プロセス・大型ロードロックなどに最適です。
スペック
| 型式 | 型式 | 単位 | ESA15-D | ESA25-D | ESA25XW | ESA70W(-D) | ESA70WN(-D) | ESA80W-HDF | ESA80WN-HDF | ESA100W | ESA100WN | ESA200W | ESA300W | ESA500W | ESA700W |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 3.5~8 | 3.5~8 | 7~16 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 6~9 | 6~9 | 6~9 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| 電源 | 電源容量 | kVA | 6.4 | 6.4 | 12.8 | 10.3 | 10.3 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12 | 23.7 | 41.3 | 46.5 |
| 排気速度 | 排気速度 | L/min | 1,400 (50Hz) 1,700 (60Hz) |
2,500 (50Hz) 3,000 (60Hz) |
5,000 (50Hz) 6,000 (60Hz) |
7,000 (50Hz) 8,400 (60Hz) |
7,000 (50Hz) 8,400 (60Hz) |
8,400 (50Hz/60Hz) | 8,400 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | 20,000 (50Hz/60Hz) | 28,000 (50Hz) 30,000 (60Hz) |
47,000 (50Hz) 50,000 (60Hz) |
80,000 (50Hz/60Hz) |
| 到達圧力 | 到達圧力 | Pa | 400 (50Hz) 270 (60Hz) |
5.3 (50Hz) 4.0 (60Hz) |
5.3 (50Hz) 4.0 (60Hz) |
0.27 (50Hz) 0.13 (60Hz) |
0.4 (50Hz) 0.27 (60Hz) |
0.13 | 0.27 | 0.13 | 0.27 | 0.53 | 0.53 | 0.53 | 0.5 |
| 接続口径 | 吸気口 | NW40 | NW50 | ISO80 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | |
| 排気口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW50 | ||
| 到達圧力時電力概略値 | 到達圧力時電力概略値 | kW | 2.9 (50Hz) 3.2 (60Hz) |
2.6 (50Hz) 2.9 (60Hz) |
5.2 (50Hz) 5.8 (60Hz) |
3.6 (50Hz) 4.0 (60Hz) |
3.6 (50Hz) 4.0 (60Hz) |
4.2 | 4.2 | 4.9 | 4.9 | 3.2 (50Hz) 3.4 (60Hz) |
6.6 (50Hz) 7.3 (60Hz) |
5.1 (50Hz) 6.7 (60Hz) |
7.4 |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 14~17 (4.6) | 17~20 (3.8) | 34~40 | 24~27 (4.7) | 24~27 (4.7) | 54~57 | 54~57 | 54~57 | 54~45 | 17~20 (3.8) | 7.5~10.5 | 8.5~11 | 8.5~11 |
| 電源 相／電圧／周波数 | 200Vモデル | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
|
| 400Vモデル | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
- | ||
| 460Vモデル | 3相/440V/50Hz 3相/440-480V/60Hz |
3相/440V/50Hz 3相/440-480V/60Hz |
3相/440V/50Hz 3相/440-480V/60Hz |
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| 概略質量 | 概略質量 | kg | 240 | 240 | 480 | 380 | 380 | 400 | 400 | 400 | 400 | 410 | 700 | 750 | 1200 |
