
ドライ真空ポンプ・排ガス処理装置一体型システム
チャンバ排気・排ガス処理プロセスの最適化が可能、統合・管理コストを低減したドライ真空ポンプ・排ガス処理装置一体型システム
製品紹介
- ドライ真空ポンプ+排ガス処理装置 一体型システムは、当社ドライ真空ポンプと排ガス処理装置の統合製品です。お客様の生産効率を最大化するシステムを提案します。要件に合わせて最適なドライ真空ポンプを排ガス処理装置に組み込むことで、設備設置負荷を低減。統合排気システムとして一括操作・一括管理が可能で、高効率プロセスを実現します。