半導体業界向け －60℃の極低温チラーを開発・初出荷
～荏原が培った冷熱技術・ポンプ技術を組み合わせ、電力・水の消費量を30～50%削減～

荏原製作所（以下：荏原）は、－60℃極低温チラー（RJ-TTC型／以下、本製品）を開発し、半導体市場向けに出荷しました。

近年の半導体の微細化・高集積化に伴い、エッチングプロセスでは高精度化・低温化・高出力化が求められています。こうした背景から、エッチング装置の冷却を担うチラーにおいても消費電力や使用水量の増加が避けられず、対策が大きな課題となっています。
荏原ではこの課題を解決するために、当社が培ってきた冷熱技術とポンプの技術を組み合わせ、水の消費量と消費電力を抑える－60℃の極低温チラーを開発し、この度初の出荷となりました。

当社従来品と比較して電力・水の消費量を約30～50%削減。

①冷却液循環用に開発した「小型省エネポンプ」を搭載
②負荷状況に応じて、リアルタイムにチラーを最適制御する独自の省エネアルゴリズムを開発

半導体の微細化・高集積化に伴い、極低温チラーは今後も需要の増加が見込まれます。建築・産業カンパニーの技術を活かした本製品を通じて、半導体業界におけるお客様のご要望を実現していきます。

ー 荏原グループについて ー

荏原グループは、長期ビジョンと中期経営計画に基づき、事業活動を通じて社会課題を解決し、持続可能な社会の実現と企業価値のさらなる向上を図っていきます。

^{※文中の「○○○型」の表示は当社の機種記号です。}