一般社団法人日本真空工業会より「真空コンポーネント大賞」を受賞

荏原製作所（以下：荏原）は、一般社団法人日本真空工業会の「2025年度 JVIA表彰」において、「真空コンポーネント大賞」を受賞しました。

近年、半導体製造の分野では回路の微細化・高集積化の進展により、製造プロセス数が増加し、それに伴う付帯装置の増設で、限られたサブファブエリア^※１の過密化が深刻な課題となっています。荏原の半導体製造向けコンポーネント事業では、真空技術をコアとして製品供給から真空ソリューションプロバイダーを目指し、「省スペース」「省エネルギー」「省オペレーション」という3つの「省く」をコンセプトに、全てのお客さまの課題解決に取り組んでいます。

JVIA表彰は、真空産業の発展に貢献した技術、製品、人材・活動を表彰するものです。今回受賞した一体型真空排気システム「EVIS（Ebara Vertical Integrated System）」は、従来品と比べ筐体の高さを約50％コンパクトに設計した燃焼式排ガス処理装置「LA+」の誕生により、創出したスペースに真空ポンプを設置・パッケージ化した製品です。パッケージ化により、お客さま側の煩雑な設計検討を不要にした点が成果として評価されました。

荏原は、今後も半導体製造の進化を支える革新的なソリューションを提供してまいります。

ー 荏原グループについて ー

荏原グループは、長期ビジョンと中期経営計画に基づき、事業活動を通じて社会課題を解決し、持続可能な社会の実現と企業価値のさらなる向上を図っていきます。

^{＊１：半導体工場（ファブ）において、製造装置を支える補助設備を設置するエリア}