当社フェローの辻村が「Terry Higashi Award」を受賞

このたび、荏原製作所（以下：荏原）フェロー^※1の辻村^※2が、SEMIジャパンが新たに創設した「Terry Higashi Award」（以下：本賞）を受賞しました。

本賞は、東京エレクトロン株式会社で長年にわたり半導体産業の発展に尽力し、SEMI International Board Chairとしてグローバルの半導体産業に大きく貢献され、また、現在もRapidus株式会社の取締役会長として日本での最先端半導体の開発・製造・販売を目指している東 哲郎氏の名前を冠した賞です。以下を目的とし、SEMI日本地区諮問委員会の推薦・投票により決定されます。

・SEMIの活動、またはグローバル半導体産業への顕著な貢献
・Cultural Leadershipを発揮し、半導体業界をけん引
・日本の半導体産業の発展への大きな貢献

荏原の精密・電子事業領域において半導体製造装置の研究開発と事業を牽引し、特にCMP技術の第一人者として国際学会や技術標準化、技術ロードマップなど幅広い分野で国際的なリーダーシップを発揮しています。
また、SEMIでの活動では、SEMIテクノロジーシンポジウムのプログラム委員会委員長としての活躍に加え、SEMIスタンダード委員会でCMP技術関連の国際標準や安全ガイドラインの策定を主導しました。
SEMIが高校生向けに開催した人材開発施策「ハイテク・ユニバーシティ」において半導体の魅力を熱心に語るなど、若い世代への啓発にも力を注いでいます。
さらに、日本半導体製造装置協会や日本真空工業会の会長を務め、SEMIを含む半導体業界の三団体の橋渡し役としても重要な役割を果たしてきました。

荏原製作所 フェロー　辻村 学（つじむら まなぶ）

■主要略歴：
1974年4月　株式会社荏原製作所 入社
2002年6月　執行役員
2007年4月　常務執行役員
2009年6月　取締役
2011年4月　精密・電子事業カンパニープレジデント、技術・研究開発知的財産担当
2013年4月　専務執行役員
2015年6月　執行役専務
2019年3月　フェロー（現在）
※2017年5月～2019年5月　一般社団法人日本半導体製造装置協会 会長
※2023年　藍綬褒章 受章

ー 荏原グループについて ー

荏原グループは、長期ビジョンと中期経営計画に基づいてESG重要課題に取り組むことで、持続可能な開発目標（SDGs）の達成を目指し、企業価値のさらなる向上を図っていきます。

ご参考：「Terry Higashi Award」を創設 受賞者は、辻村 学氏に決定（SEMIジャパンリリース）

^{※1 フェロー：当社に係る技術全般において、 高度な専門的知見・能力を持ち、卓越した成果をあげ、会社の発展に顕著な貢献を果たした者。また、対外的に荏原ブランドの地位向上並びに社内外から高く評価され、影響力を発揮する役割を担う者の役職です。
※2 辻村の「辻」は「一点しんにょう」が正式表記です。}