燃焼式排ガス処理装置「LA+」を複数企業から受注

荏原製作所（以下：荏原）は、2025年1月より販売開始した、半導体製造におけるプロセスガスの無害化処理を行う燃焼式排ガス処理装置「LA+」（以下：LA+）を、国内外の半導体デバイスメーカや半導体製造装置メーカから受注しました。

昨今、半導体製造プロセスでは生産ラインの安定化・生産性向上に加え、環境配慮やフットプリント縮小などのニーズが高まっています。
それに対しLA+は、CF4などの難分解性ガスに対して、NOx排出量を抑制しながらも従来製品と同等以上となるDRE値95％以上を達成しました。また、従来製品より筐体高さを約50％コンパクト化したことで、製品の上部空間を有効活用でき、省エネおよびフットプリントの縮小を実現しています。
このたび、これらの特長がお客さまに評価され、複数企業からの受注につながりました。

今回の受注により、お客さまの生産性向上や環境負荷低減に、より一層貢献していきます。
当社は今後も、お客さまの期待に応える技術で課題に挑戦し、多様化する半導体業界のさらなる発展と、長期ビジョン「E-Vision2030」で掲げる「進化する豊かなくらしづくり」を目指していきます。

荏原グループは、長期ビジョンと中期経営計画に基づいてESG重要課題に取り組むことで、持続可能な開発目標（SDGs）の達成を目指し、企業価値のさらなる向上を図っていきます。

ご参考：コンパクトな設計と高い生成物耐性を備えた燃焼式排ガス処理装置LPCMN型の販売を開始（2024年12月9日付 当社ニュースリリース）