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Japan

荏原製作所、藤沢事業所新開発棟(V8棟)が竣工
~ 半導体製造装置の開発力・サポート力を強化 ~


V8棟

荏原製作所(以下:荏原)は、藤沢事業所内に建設していた、精密・電子カンパニーの新開発棟(V8棟)が竣工しましたのでお知らせいたします。

1.背景

IoTや生成AIをはじめとしたDXの進展に伴い、半導体の需要は世界的に高まっており、2030年には1兆ドルの市場規模になると言われています。また、半導体の微細化・高集積化が加速する中で、荏原が開発・製造しているCMP装置をはじめとした半導体製造装置も、用途や製造プロセスなど、お客さまの多様なニーズへの対応と、より一層の進化が求められています。

2.概要

今回の新開発棟ではCMP装置をはじめとする半導体製造装置の開発を主な用途としており、開発エリアの大幅な拡張を目的としています。これにより、最先端の開発装置、検査装置、ユーティリティ環境を活用した次世代のプロセス開発が可能となり、装置の開発スピードの向上およびお客さまの開発プロセスへのサポート体制の強化を確立しています。

3.新開発棟の詳細

所在地神奈川県藤沢市本藤沢4-2-1
施設内容半導体製造装置の開発棟
建築面積4,355m2
延床面積16,216m2
階数地上4階、地下1階
着工2023年5月
稼働開始2025年8月(予定)

新開発棟は、装置のリモート接続、業務効率を向上させるレイアウトなどで質の高い開発環境を実現すると共に、装置などで死角ができる開発現場でも緊急時に備えて見守りカメラを設置し、安全性の高い開発環境の整備に注力しました。設備面では設備の集中監視強化を実現しているほか、設備システムの高効率化、エネルギーの効率的運用により省エネ性能を高め、CASBEEの Aランクの認定を取得しています。
また、棟内には600人強が勤務できる事務所エリアを併設し、今後の人員増強に対応できるスペースを確保しています。

4.今後の展開

荏原は、昨年12月に竣工し、6月中に本格稼働を予定している熊本事業所の新生産棟(K3棟)と、今回の新開発棟により、生産力・開発力の強化を図ります。変化のスピードが速い半導体業界において、各機能のより一層の強化・深化により、半導体業界のさらなる発展と、当社の長期ビジョン「E-Vision2030」で掲げる「進化する豊かな生活づくり」に貢献していきます。

ー 荏原グループについて ー

荏原グループは、長期ビジョンと中期経営計画に基づいてESG重要課題に取り組むことで、持続可能な開発目標(SDGs)の達成を目指し、企業価値のさらなる向上を図っていきます。


※CASBEE:国土交通省が主導し、建築環境・省エネルギー機構(IBEC)内に設置された委員会で開発された、建築物の環境性能を総合的に評価するシステム