荏原製作所（以下：荏原）は、半導体製造におけるプロセスガスの無害化処理を行う燃焼式排ガス処理装置LPCMN型の販売を、2025年1月から開始いたします。
1．背景
半導体製造プロセスでは、さまざまな新しい特殊材料ガスが使われています。それらを安全に無害化処理するだけでなく、その過程で発生する反応性副生成物の発生を抑え、排ガス処理装置の連続稼働時間を伸ばし、生産ラインを停止させないことも求められています。
荏原は、このようなニーズに対応するため、当社従来製品のTND型よりさらに処理性能・耐久性能を向上させた、新型排ガス処理装置LPCMN型を開発いたしました。
2．特長
本製品は、主に以下の4つの特長を備えています。
①副生成物付着の抑制とNOx/COx 排出量削減の両立
CF4など難分解性ガスに対して従来製品と同等以上のDRE値95％以上を達成し、新規開発した2段燃焼バーナーによって、ガス処理反応部での副生成物付着を最小限に抑制することと、NOx/COx排出量の削減を両立させました。
②製品の小型化による省スペース化
筐体高さ寸法を従来機比で約50%縮小しました。製品を小型化することで生まれる上部空間を有効活用することが可能です。
③水素燃料仕様をラインナップ
使用燃料としては、化石燃料の他に水素燃料をラインナップに加えました。
④最大風量600L/min
コンパクトな設計でありながら、従来製品のTND型と同様の最大風量を保持しています。