藤沢に実験開発棟を新設

2018年11月13日
株式会社 荏原製作所

荏原製作所（以下：荏原）は、精密・電子事業カンパニーの主力製品であるドライ真空ポンプ・排ガス処理装置の実験・開発を行うために、新たな実験開発棟V6棟を2019年6月末に新設します。これまでの実験設備の2倍以上の面積となります。建設にあたり、10月31日に地鎮祭を行いました。

IoTやAIの広がりを背景にあらゆるものに半導体が使われるようになり産業分野の需要が急速に増えるなど、半導体製造装置市場は拡大傾向にあります。さらに、先端研究開発設備、分析装置、医療機器などでもドライ真空ポンプや排ガス処理装置の需要は多様化しています。お客さまの多種多様な要望に効率的に応えていくための開発設備と体制を築いていきます。

• フロア面積および試験ベンチ（テストスタンド）数を従来の実験設備比で2倍以上に拡張
• お客さまの使用環境を再現するプロセスガス導入・処理設備を設置
• 新製品の運転・動作をお客さまに確認いただけるデモルームを設置
• ドライ真空ポンプと排ガス処理装置の開発設備を1カ所に集約
• IoT技術を活用した試験データ計測システムの採用

ドライ真空ポンプ及び排ガス処理装置の開発効率向上とスピートアップにより、お客さまの要求に合致した製品をタイムリーに継続して市場投入してまいります。さらに、多方面から需要が高まっているドライ真空ポンプと排ガス処理装置を一体とした排気システムの製品開発も、推進してまいります。

荏原は、これからもお客さまの要望に応えた高機能な半導体製造装置の提供とサービス＆サポート体制の拡充を図り、変化のスピードが速い半導体業界において、顧客ニーズに柔軟に対応し、事業拡大を図ってまいります。