Society5.0で描かれている未来社会においては、サイバー空間と現実世界が高度に融合することにより、経済発展と社会的課題の解決を両立していくことが目標とされています。IoT・ロボット・AI・ビッグデータなどの先端技術によって、エネルギー・環境／気候変動・食料・防災・医療／介護といった問題を解決するためには、半導体の存在が不可欠です。
E-Vision2030の成果目標に掲げている「14Åへの挑戦」は、Society5.0の実現に寄与する高性能で省エネルギーな半導体の製造を実現することへの挑戦です。
EUV露光装置向け排気システム市場に参入し、出荷を開始したり、精密・電子事業と冷熱事業で協業し、半導体装置向けチラーを発売したりしています。また、国際的研究機関との共同開発や次世代製品 の開発、最先端技術への対応を推進 しています。
今後、ますます需要が拡大する半導体ニーズに対応するために、製造ラインの増強に着手しています。
半導体製造装置の進化を通じた未来社会実現への貢献
