半導体デバイスの高性能化と小型化が加速。風水力事業において蓄積したポンプの技術を活用し、半導体向けの真空ポンプを開発。翌1986年にはルーツ型ドライ真空ポンプ１号機を納入。

進行する環境問題の解決に向けて、地球温暖化ガス、有毒ガスなど製造工程で発生する有害ガスを無害化し、大気に放出するための排ガス処理装置を開発。

電子機器、工場機械の小型化が進んだことで、半導体のニーズも微細化・多層化が必要となった。それに荏原も対応すべく、CMP装置を完成。