制御システムや基幹部品を現行製品と同等にリニューアルする事で、
老朽化した機器のリフレッシュや一部の機能追加改造が実現できます。
製品リニューアル・構成機器リニューアル
製品リニューアル
現行製品 2018年4月時点
| 製 品 | 適用ウェハ径 | 型 式 |
|---|---|---|
 CMP装置 | 200㎜ | F-REX200M2 |
| 300㎜ | F-REX300SⅡ | |
| F-REX300X | ||
 べベル研磨装置 | 300㎜ | EAC300bi-hv |
 めっき装置 | 200/300㎜ | UFP-A |
構成機器リニューアル ※1
| 製 品 | 旧システム | リニューアル | Note |
|---|---|---|---|
| Control System | VME | PLC | VME制御からPLC制御に |
| Control Network | … | CC-Link IE | HMI,PLC,ME間通信を Network化 |
| Motor | RS-232C/422 | Motion Network | Network化 サーボモータ化 |
| Filed Network (I/O,D/A,A/D) | UNI-WIRE | CC-Link | 表示機器の削減、 現行機との部品共通化 |
基幹部品のリニューアル例
- 操作パネルの代替改造(タッチパネル→マウス&キーボード)
- HDD(ハードディスクドライブ)タイプ変更改造(SCSIタイプ→SATAタイプ)
- FDD(フロッピーディスクドライブ)→CF(コンパクトフラッシュ)へ変更改造
- 電装機器(モータ・センサ 等) 代替改造
※1 構成機器リニューアルに関しては、実現できない場合もあります。
