お客様に長年ご愛用頂いているレガシー装置(正規サポートを終了した装置)におけるサポート継続に取り組んでおります。
製品・構成機器等のリニューアルのご用命に対応しております。
E-Support
リニューアルサポート
E-Support 対象製品
2023年1月時点
| 製 品 | 型式・シリーズ |
|---|---|
| CMP装置 | EPOシリーズ、F-REX200、F-REX300、F-REX300S、F-REX300E |
| べベル研磨装置 | EAC200bi(-T)、EAC300bi(-T)、EAC300si |
| めっき装置 | UFP200/300シリーズ |
