TND型
低氮氧化物排放和丰富反应副产品措施的燃烧式废气处理系统，降低维护成本。
产品介绍
- TND系列是一种燃烧式废气处理系统，采用独特的燃烧系统以实现低氮氧化物和低一氧化碳排放。多种腐蚀和副产品对策使维护间隔比传统产品长三倍。低公用事业消耗也使得低成本运营成为可能，从而降低运行成本。该系列包括TND-Single（燃烧+湿式）和TND-Single Plus（湿式 + 燃烧 + 湿式）。该系列即使在高副产品生成的工艺中也能实现低运行成本和高效的废气处理。
规格
| 设备名称 | 设备名称 | 单位 | TND-Single A1-A4/ TND-Single P1~P4 | TND-Single Plus-A1~A4/P1~P4 |
| 处理方式 | 处理方式 | 燃烧式 + 湿式 | 湿式 + 燃烧式 + 湿式 | |
| 最大允许流入气体量 | 最大允许流入气体量 | L/min | 200(每个端口） 400(每台装置） | 200（每个端口）400（每个燃烧器） |
| 燃料 | 燃料 | 选择城市燃气/丙烷气体 | 选择城市燃气/丙烷气体 | |
| 尺寸 | 尺寸 | W x D x H mm | 1,200 x 650 x 1,980 | 1,200 x 650 x 1,980 |
| 可处理气体例 | 可处理气体例 | 工艺（沉积）气体 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8 等。清洗气体 - 所有类型 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。刻蚀气体 - 所有类型 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 | 处理（沉积）气体 WF6、TiCl4、SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等。清洗气体 - 所有类型 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。刻蚀气体 - 所有类型 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。PFCs CF4, C2F6, C3F8, CHF3, SF6, etc. | |
| 标准装备品 | 标准装备品 | 用于粉末去除的清洗机制，燃烧器刮刀用于粉末去除 | 粉末过滤机制，燃烧器刮刀用于粉末去除 | |
| 选项 | 选项 | 城市水/排水消耗减少单位 风扇清洗器用于减少粉尘排放 | 城市水/排水消耗减少单元 风扇清洗器用于减少粉尘排放 |
