G-WS型
适合低成本处理水溶性气体的节省空间的湿式废气处理系统
产品介绍
- 是一种可以以低成本安装和操作的湿式废气处理系统。不需要燃料，长期维护周期是基于Ebara在燃烧型废气处理系统中培养超过十年的独特副产品对策实现的。高正常运行时间有助于稳定操作和降低维护成本及劳动力。
- 此外，维护空间仅在设备的前面。即使在有限的子厂空间中也可以实现灵活布局。
- 待处理气体：可在室温下处理的水溶性气体，如NH3、DCS、TiCl4、WF6、HF和HCl
规格
| 设备名称 | 设备名称 | 单位 | G-WS1000 |
| 最大处理风量 | 最大处理风量 | L/min | 1,000 |
| 连接流入口数 | 连接流入口数 | 4 | |
| 外形尺寸 | 外形尺寸 | mm | W 914 x D 736 x H 1,727 |
| 容量 | 水量 | L/min | 1 - 10 |
| 排量 | L/min | 1 - 10 | |
| 氮气 | L/min | 15-50 | |
| 电源 | 1.8-3.5kW、3相AC 200V（50/60Hz） | ||
| 排气管道（已处理气体） | m3/min | 1.5 | |
| 排气管道（框体排气） | m3/min | 1.3 | |
| 主要的可处理气体 | Epi | HCl, DCS | |
| CVD | WF6, NH3, TiCl4, BCl3, ClF3, SiF4, Cl2*, F2* | ||
| Etching | BCl3, HCl, HF, HBr, SiF4, Br2*, Cl2*, F2* | ||
| Asher | NH3 | ||
| 无法进行湿式处理的气体 | 无法进行湿式处理的气体 | H2, SiH4, PH3, GeH4, CH4, PFCs (CF4, SF6, NF3)等。 |
- *如需处理敬请垂询
