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GT型

干燥的废气处理系统，用于处理如砷和磷等危险物质，无需水洗涤

  • 最适合研究设施
  • 吸附特定化学物质
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产品介绍
  • 可以为每个目标工艺气体选择最合适的吸附剂，适用于广泛的应用。

规格

设备名称 设备名称 单位 GTE-3-0 GTE-0-2 GTC-1-0 GTC-2-0 GTC-6-0 GTC-0-1
处理方式 处理方式 干燥 干燥 干燥 干燥 干燥 干燥
最大允许流入气体量 最大允许流入气体量 L/min 100 80 100 100 100 100
单一尺寸 单一尺寸 W x D x H mm 600x600x2,000 900x600x2,000 600x600x2,000 600x600x2,000 600x600x2,000 600x600x2,000
双重尺寸 双重尺寸 W x D x H mm 900x600x2,000 - 900x600x2,000 900x600x2,000 900x600x2,000 900x600x2,000
可处理气体例 可处理气体例 HBr、Cl2、BCl3、F2、SiF4、HF、COF2、C5F8、C4F6等。 NF3、N2O、NO、NO2、SiF4、HF、F2等 SiH4、PH3、AsH3、TMS等 NH3, SiH2Cl2, SiCl4, etc. TEOS、TMB、TME、O3等 ClF3、HF、F2、HCl等

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