





GT型
干燥的废气处理系统,用于处理如砷和磷等危险物质,无需水洗涤
产品介绍
- 可以为每个目标工艺气体选择最合适的吸附剂,适用于广泛的应用。
规格
设备名称 | 设备名称 | 单位 | GTE-3-0 | GTE-0-2 | GTC-1-0 | GTC-2-0 | GTC-6-0 | GTC-0-1 |
处理方式 | 处理方式 | 干燥 | 干燥 | 干燥 | 干燥 | 干燥 | 干燥 | |
最大允许流入气体量 | 最大允许流入气体量 | L/min | 100 | 80 | 100 | 100 | 100 | 100 |
单一尺寸 | 单一尺寸 | W x D x H mm | 600x600x2,000 | 900x600x2,000 | 600x600x2,000 | 600x600x2,000 | 600x600x2,000 | 600x600x2,000 |
双重尺寸 | 双重尺寸 | W x D x H mm | 900x600x2,000 | - | 900x600x2,000 | 900x600x2,000 | 900x600x2,000 | 900x600x2,000 |
可处理气体例 | 可处理气体例 | HBr、Cl2、BCl3、F2、SiF4、HF、COF2、C5F8、C4F6等。 | NF3、N2O、NO、NO2、SiF4、HF、F2等 | SiH4、PH3、AsH3、TMS等 | NH3, SiH2Cl2, SiCl4, etc. | TEOS、TMB、TME、O3等 | ClF3、HF、F2、HCl等 |