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GCR型

高效节能的催化型废气净化系统

  • 催化型废气净化系统
  • 低功耗
  • 高效去除PFC气体
  • 无需燃料
  • 低维护成本
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产品介绍
  • GCR型号是一种催化型废气净化系统，能够高效分解和去除气体，包括用于刻蚀氧化物半导体薄膜的CF4等PFC气体，且运行成本低。

规格

设备名称 设备名称 单位 GCR120* GCR250
处理方式 处理方式 催化+湿式 催化+湿式
反应器寿命检测器 反应器寿命检测器 PFC探测器 PFC探测器
最大允许流入气体量 最大允许流入气体量 L/min 120 250
尺寸 尺寸 W x D x H mm 1,200×600×1,800mm 1,400×700×1,850mm
可处理气体例 可处理气体例 CF4, C2F6, C3F8, CHF3, SF6, C5F8, C4F6, NF3, HF, F2, SiF4, CO, COF2, N2O等 CF4, C2F6, C3F8, CHF3, SF6, C5F8, C4F6, NF3, HF, F2, SiF4, CO, COF2, N2O等

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