G6-E型
能够同时减少大量氢气和氯气的燃烧型废气净化系统
产品介绍
- 设备名称 G6-E 是一种适用于处理含氢和氯的大量气体的燃烧型废气净化系统，主要用于外延生长和其他半导体制造过程中的系统。其紧凑的设计能够以高达 200 L/min 的速度处理氢气。能够同时处理氯气和氢气。标配副产品去除功能，降低维护成本和负荷。
规格
| 设备名称 | 设备名称 | 单位 | G6-E A1~A4 | G6-E P1~P4 |
| 处理方式 | 处理方式 | 燃烧式 + 湿式 | 燃烧式 + 湿式 | |
| 最大允许流入气体量 | 最大允许流入气体量 | L/min | 400 | 400 |
| 燃料 | 燃料 | 城市燃气 | 丙烷气 | |
| 尺寸 | 尺寸 | W x D x H mm | 1,200×650×1,900mm | 1,200×650×1,900mm |
| H2 减排 | H2 减排 | L/min | 200 | 200 |
| 可处理气体例 | 可处理气体例 | 工艺（沉积）气体 H2、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6 等。清洗气体 - 所有类型 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。刻蚀气体 - 所有类型 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 | 工艺（沉积）气体 H2、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6 等。清洗气体 - 所有类型 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。刻蚀气体 - 所有类型 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 | |
| 标准装备品 | 标准装备品 | 大流量 H2 减排燃烧器 燃烧器刮刀用于去除粉尘 |
大流量 H2 减排燃烧器 刮刀用于粉尘去除 |
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| 选项 | 选项 | 城市水/排水消耗减少装置 风扇洗涤器用于减少粉尘排放 |
城市水/排水消耗减少装置 风扇洗涤器用于减少粉尘排放 |
