G6型
适用于高达1200 L/min的大流量燃烧型废气处理系统
产品介绍
- G6型是一个燃烧型废气处理系统，能够高效处理各种类型的气体，处理量大。进气量是传统型号的三倍。适合处理大量高热量氢气。通过按需操作，使用可变燃料量以适应被处理气体的类型和体积，从而降低运行成本。通过大型副产品捕集器等副产品对策，降低高流量气体处理的维护成本和负荷。非常适合用于半导体、液晶面板、太阳能电池和LED等电气元件的制造操作、化学和材料制造以及研究实验室的应用。
规格
| 设备名称 | 设备名称 | 单位 | G6 A1~A4 | G6 P1~P4 |
| 处理方式 | 处理方式 | 燃烧式 + 湿式 | 燃烧式 + 湿式 | |
| 最大允许流入气体量 | 最大允许流入气体量 | L/min | 1,200 x 1,900 x 2,300 | 1,200 x 1,900 x 2,300 |
| 燃料 | 燃料 | 城市燃气 | 丙烷气体 | |
| 尺寸 | 尺寸 | W x D x H mm | 1,200 x 1,900 x 2,300 | 1,200 x 1,900 x 2,300 |
| 可处理气体例 | 可处理气体例 | 工艺（沉积）气体 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8等。清洗气体 - 所有类型 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等。刻蚀气体 - 所有类型 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等。 | 工艺（沉积）气体 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8等。清洗气体 - 所有类型 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等。刻蚀气体 - 所有类型 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等。 | |
| 标准装备品 | 标准装备品 | 大流量NF3废气处理燃烧器 | 大流量NF3废气处理燃烧器 |
