G5型
燃烧型废气处理系统，提供对可燃气体和全氟化碳（PFCs）的高效处理
产品介绍
- G5系列是燃烧型废气处理系统，提供对制造操作中使用的多种气体的高效处理能够批量处理多种气体，并对通常难以处理的PFCs进行高效处理通过独特的副产品去除措施和按需操作，具有可变燃料量以适应被处理气体的类型和体积，G5型号实现了运行成本的降低非常适合用于半导体、LCD面板、太阳能电池和LED、电气元件的制造操作、化学和材料制造以及研究实验室的应用系列包括流量为1200 L/min的大容量型号
规格
| 设备名称 | 设备名称 | 单位 | G5-350 A1~A4/P1~P4 | G5-500 A1~A4/P1~P4 | G5-600 A1~A4/P1~P4 | G5-1200 A1~A4/P1~P4 |
| 处理方式 | 处理方式 | 燃烧式 + 湿式 | 燃烧式 + 湿式 | 燃烧式 + 湿式 | 燃烧式 + 湿式 | |
| 最大允许流入气体量 | 最大允许流入气体量 | L/min | 350 | 500 | 600 | 1200 |
| 燃料 | 燃料 | 选择城市燃气/丙烷气体 | 选择城市燃气/丙烷气体 | 选择城市燃气/丙烷气体 | 选择城市燃气/丙烷气体 | |
| 尺寸 | 尺寸 | W x D x H mm | 1,200 x 650 x 1,900 | 1,200 x 650 x 1,900 | 1,200 x 1,100 x 2,000 | 1,200 x 1,100 x 2,200 |
| 可处理气体例 | 可处理气体例 | 工艺（沉积）气体清洗气体，包括SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2、NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等刻蚀气体 - 所有类型HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等PFCs CF4, C2F6, C3F8, CHF3, SF6, etc. | 工艺（沉积）气体清洗气体，包括SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2、NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等刻蚀气体 - 所有类型HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等PFCs CF4, C2F6, C3F8, CHF3, SF6, etc. | 工艺（沉积）气体 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 清洗气体 - 所有类型 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等刻蚀气体 - 所有类型 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等PFCs CF4, C2F6, C3F8, CHF3, SF6, etc. | 工艺（沉积）气体 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 清洗气体 - 所有类型 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等刻蚀气体 - 所有类型 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等PFCs CF4, C2F6, C3F8, CHF3, SF6, etc. | |
| 标准装备品 | 标准装备品 | 用于粉末去除的燃烧器刮刀 | 用于粉末去除的燃烧器刮刀 | 用于粉末去除的燃烧器刮刀 | 用于粉末去除的燃烧器刮刀 | |
| 选项 | 选项 | 城市水/排水消费减少单位 | 城市水/排水消耗减少装置 | 市政水/排水消耗减少装置 | 市政水/排水消耗减少装置 |
