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F-REX300XA型

进一步提高生产效率，高性能和灵活的CMP系统

  • 干入/干出
  • 卓越的工艺性能
  • 可靠的结构（一台一头，双模块系统）
  • 高操作率/高通量
  • 适合多级化学清洗
  • 抛光端点检测监控器（可选）
  • 在线膜厚测量装置（可选）
  • 多样化的功能和灵活的设备配置
  • 易于修改和维护的模块结构
  • 灵活的运输机制
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产品介绍
  • 通过新开发的高效运输机制和WPH优化算法，Ebara的高可靠性结构得以保持，如一台一头和双模块系统，从而进一步提高生产力。采用灵活的运输机制和进一步的交叉污染防控措施，有助于提高产量。它还采用了易于修改和升级的模块结构，使未来安装新功能所需时间更少。此外，与F-REX300X型相比，功耗减少了约10%，零部件数量也减少，从而实现了减少供应链中二氧化碳排放等可持续发展目标。它支持更环保的半导体制造。

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