
F-REX300XA型
进一步提高生产效率,高性能和灵活的CMP系统
产品介绍
- 通过新开发的高效运输机制和WPH优化算法,Ebara的高可靠性结构得以保持,如一台一头和双模块系统,从而进一步提高生产力。采用灵活的运输机制和进一步的交叉污染防控措施,有助于提高产量。它还采用了易于修改和升级的模块结构,使未来安装新功能所需时间更少。此外,与F-REX300X型相比,功耗减少了约10%,零部件数量也减少,从而实现了减少供应链中二氧化碳排放等可持续发展目标。它支持更环保的半导体制造。
进一步提高生产效率,高性能和灵活的CMP系统