F-REX型

产品介绍

• F-REX型号是一个兼容洁净室的CMP系统，用于晶圆表面的化学机械抛光。其高可靠性和卓越的工艺性能已在市场上得到验证，并提供多样化和灵活的配置以满足每个客户的需求。
• 双模块系统，工艺室之间无相互污染。如果一个模块停止，另一个模块会自动开始操作。这意味着无需关闭整个单元进行维护或故障排除，从而实现高生产力。双模块系统还便于在一个单元中进行多种工艺处理。不仅适合大规模生产的单元配置，也适合测试和开发。