FDS型
干式废气处理系统，用于高效安全地处理PFC气体，无需水洗
产品介绍
- FDS型号是一种干式废气处理系统，能够高效安全地处理PFC气体，无需水洗。能够高效处理至少99.9%的PFC气体，并在分解后对氟系列气体进行干固化，不产生废水，无需处理有毒废水。双气缸类型在最大气体流入速率为250 L/min（在250-L/min双气缸类型情况下）时，PFC去除效率达到99%以上，并由于反应器容器串联流动设计，系统正常运行时间大幅提高，而单气缸类型则便于更换现有的干式废气处理系统。非常适合没有废水处理设备或燃料管线的研究实验室。
规格
| 设备名称 | 设备名称 | 单位 | FDS100S | FDS250 |
| 处理方式 | 处理方式 | 干式 | 干式 | |
| 反应器 | 反应器 | 1 | 2 | |
| 反应器寿命检测器 | 反应器寿命检测器 | 标准：负载传感器选项：PFC探测器 | 标准：PFC探测器 | |
| 最大允许流入气体量 | 最大允许流入气体量 | L/min | 100L/min | 250L/min |
| 尺寸 | 尺寸 | W x D x H mm | 00×600×2,000mm | 1,605×1,000×2,507 |
| 使用寿命 | 使用寿命 | L/支 | CF4：3,000 | CF4：10,000 |
| 可处理气体例 | 可处理气体例 | CF4, C2F6, C3F6, CHF3, SF6, C5F8, C4F6, NF3, etc. | F4, C2F6, C3F6, CHF3, SF6, C5F8, C4F6, NF3, etc. |
