
EV-X型
小型、节能,并且能够通过一个单元覆盖广泛的工艺。
产品介绍
- 这款干式真空泵适用于中等负荷工艺,配备了Ebara独特的节能技术,采用优化的模块化设计,适合在自动化工厂中制造,实现进一步的小型化和节能。
- 具有广泛的温度控制能力,扩展了适用的工艺。同一型号可以覆盖多个工艺;因此,可以优化备件库存,减少维护和培训,并在未来灵活扩展工艺。此外,通过对每个工艺进行最佳温度控制,提高了工艺的抗性,并通过延长部件的更换周期降低了TCoO。
- 适用的应用包括各种蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延等。