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EV-S型

低功耗小型干式真空泵

  • 低功耗
  • 紧凑且轻便
  • 耐腐蚀材料选项
  • 可选N2清洗型
  • 无论频率（50/60 Hz）如何，泵送性能相同
  • 无油
  • CE标记/SEMI-S2/NRTL可用
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产品介绍
  • 凭借EBARA独特的转子设计和空转功能，EV-S系列实现了世界级的能效和小型化。有助于降低运行成本。通过增强的耐腐蚀选项，该设备名称提供了从轻负载工艺（如负载锁定和SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用。

规格

设备名称 设备名称 单位 EV-S20 EV-S20P/N EV-S30 EV-S30P EV-S50 EV-S50P/N EV-S100 EV-S100P/N EV-S200 EV-S200P/N
冷却水 流量 L/min 1.5~3.0 1.5~3.0 1.5~3.0 1.5~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0
温度 ℃ Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30
电源 电源容量 kVA 3.2 3.2 3.6 3.6 4.8 4.8 6.4 6.4 6.8 6.8
排气速度 排气速度 L/min 1670 1670 3300 3300 5000 5000 10000 10000 20000 20000
极限压力 极限压力 Pa 3.0 5.0 0.5 1.0 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
连接口径 吸气口 NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW80 NW80 NW100 NW100
排气口 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW40 NW40
极限压力时功率概值 极限压力时功率概值 kW 0.4 0.4 0.4 0.4 0.55 0.55 0.65 0.65 0.75 0.75
N2 流量 Pa•m3/s - 17～20 (2.4) - 17～20 (2.4) 17～20 (2.4) 17～20 (2.4) 17～20 (2.4)
电源相/电压/频率 200V机型 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz
400V机型 三相/380-440V,50/60Hz 三相/380-440V,50/60Hz - - 三相/380-440V,50/60Hz 三相/380-440V,50/60Hz 三相/380-440V,50/60Hz 三相/380-440V,50/60Hz 三相/380-440V,50/60Hz 三相/380-440V,50/60Hz
质量概值 质量概值 kg 60 60 90 90 100 100 120 120 170 170
  • *规格仅为示例。它们可能会因设备名称而异，因此请咨询详细信息。
  • *请联系我们以获取详细信息。

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