EV-M型
低功耗干式真空泵，适用于高负载应用的理想性能。
产品介绍
- 凭借荏原独特的耐热技术，EV-M系列旨在满足半导体、液晶和太阳能电池制造过程中产生大量反应副产品的高负载应用。凭借其卓越的功耗性能，EV-M系列在高负载应用的抗性和能效之间达到了平衡。标准采用坚固的抗腐蚀材料。还提供一款大容量型号，泵送速率为110,000 L/min。广泛的产品系列满足各种高负载应用以匹配工艺条件。
规格
| 设备名称 | 设备名称 | 单位 | EV-M20N | EV-M102N | EV-M202N | EV-M302N | EV-M502N | EV-M505SF | EV-M802N | EV-M805SF | EV-M1205SF |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 3~8 | 3~8 | 3.5~8 | 4~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| 电源 | 电源容量 | kVA | 3.3 | 5.4 | 6 | 6.8 | 7.1 | 15.7 | 8.3 | 19.4 | 14.2 |
| 排气速度 | 排气速度 | L/min | 1,800 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 50,000 | 80,000 | 80,000 | 110,000 |
| 极限压力 | 极限压力 | Pa | 5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 连接口径 | 吸气口 | NW40 | ISO100 | ISO100 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | ISO200 | ISO200 | ISO200 | |
| 排气口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 极限压力时功率概值 | 极限压力时功率概值 | kW | 1.2 | 1.8 | 1.9 | 2.3 | 2.1 | 3.9 | 2.8 | 4.6 | 5.3 |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 28~33 | 228 | 28~33 | 228 | 34~35 |
| 电源相/电压/频率 | 200V机型 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
|
| 400V机型 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
- | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
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| 质量概值 | 质量概值 | kg | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | 580 | 740 | 820 | 870 |
