EST型
干式真空泵，适合处理反应副产品，并满足大容量腔体的快速抽气要求
产品介绍
- EST型系列采用螺旋式转子，并配备高温操作功能，以在高温下保持泵内气体。最适合于产生反应副产品的应用，如CVD。该型号采用耐腐蚀材料作为标准，能够实现高排气速度和大抽气量，并通过减少停机时间来提高工艺效率。
规格
| 设备名称 | 设备名称 | 单位 | EST10N | EST25N | EST100WN | EST200WN | EST300WN | EST500WN | EST800WN |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| 电源 | 电源容量 | kVA | 4.6 | 7.3 | 8.2 | 8.5 | 12.7 | 15.1 | 16 |
| 排气速度 | 排气速度 | L/min | 1,000 | 2,500 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 80,000 |
| 极限压力 | 极限压力 | Pa | 2.7 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.5 |
| 连接口径 | 吸气口 | NW40 | NW40 | NW50 | NW100 | NW100 | ISO160 | ISO200 | |
| 排气口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 极限压力时功率概值 | 极限压力时功率概值 | kW | 2.3 | 3 | 3.2 | 3.2 | 4.5 | 4.6 | 4.6 |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 13~18 | 13~18 | 24~29 | 24~29 | 28~31 | 28~31 | 28~31 |
| 电源相/电压/频率 | 200V机型 | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 3相/203-phase/200V/50Hz 3-phase/200-220V/60Hz0V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V机型 | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | - | ||
| 质量概值 | 质量概值 | kg | 260 | 300 | 380 | 430 | 500 | 550 | 840 |
