ESR型
低功耗干式真空泵，适用于腐蚀性工艺应用
产品介绍
- 凭借EBARA独特的转子设计和空转功能，ESR型系列模型实现了低功耗和小占地面积。有助于降低运行成本。提供增强的耐腐蚀选项，这个型号适用于从轻负载工艺（如负载锁定和扫描电子显微镜）到腐蚀性工艺的广泛应用。
规格
| 设备名称 | 设备名称 | 单位 | ESR20N | ESR30 | ESR30N | ESR500W(N) |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 2~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| 电源 | 电源容量 | kVA | 4.0 | 7.0 | 7.0 | 12.3 |
| 排气速度 | 排气速度 | L/min | 1,300 ~ 2,000 | 3,000 | 3,000 | 46,000 |
| 极限压力 | 极限压力 | Pa | 2 | 0.53 | 0.67 | 0.2 |
| 连接口径 | 吸气口 | NW40 | NW50 | NW50 | ISO160 | |
| 排气口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 极限压力时功率概值 | 极限压力时功率概值 | kW | 0.7 | 1.7 | 1.7 | 3.1 |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 19~22 (0) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) |
| 电源相/电压/频率 | 200V机型 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
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| 400V机型 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
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| 质量概值 | 质量概值 | kg | 90 | 190 | 190 | 500 |
