ESA型
适合抽取氢气等轻气体的干式真空泵。适合大容量室快速抽气要求的理想设计。
产品介绍
- ESA型号产品系列包括抽气速度从1400到10000 L/min的型号，适用于抽取氢气等轻气体，以及排气速度从20000到80000 L/min的型号，适用于大容量室的快速抽气。抽气速度为10000 L/min及以下的轻气体应用型号具有小占地面积和增强的耐腐蚀选项，非常适合用于MO-CVD等大容量轻气体抽气应用。较大型号实现安静、低振动操作，并提供有机溶剂应用的可选排气配置。它们非常适合LCD溅射设备、真空干燥过程和大负载锁定应用。
规格
| 设备名称 | 设备名称 | 单位 | ESA15-D | ESA25-D | ESA25XW | ESA70W(-D) | ESA70WN(-D) | ESA80W-HDF | ESA80WN-HDF | ESA100W | ESA100WN | ESA200W | ESA300W | ESA500W | ESA700W |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 3.5~8 | 3.5~8 | 7~16 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 6~9 | 6~9 | 6~9 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| 电源 | 额定电压 50/60 Hz | 单相200-240V 三相200-240V |
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| 电压允许波动范围 | ±10% | ||||||||||||||
| 电源容量 | kVA | 6.4 | 6.4 | 12.8 | 10.3 | 10.3 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12.0 | 23.7 | 41.3 | 46.5 | |
| 排气速度 | 排气速度 | L/min | 1,400 (50Hz) 1,700 (60Hz) |
2,500 (50Hz) 3,000 (60Hz) |
5,000 (50Hz) 6,000 (60Hz) |
7,000 (50Hz) 8,400 (60Hz) |
7,000 (50Hz) 8,400 (60Hz) |
8,400 (50Hz/60Hz) | 8,400 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | 20,000 (50Hz/60Hz) | 28,000 (50Hz) 30,000 (60Hz) |
47,000 (50Hz) 50,000 (60Hz) |
80,000 (50Hz/60Hz) |
| 极限压力 | 极限压力 | Pa | 400 (50Hz) 270 (60Hz) |
5.3 (50Hz) 4.0 (60Hz) |
5.3 (50Hz) 4.0 (60Hz) |
0.27 (50Hz) 0.13 (60Hz) |
0.4 (50Hz) 0.27 (60Hz) |
0.13 | 0.27 | 0.13 | 0.27 | 0.53 | 0.53 | 0.53 | 0.5 |
| 连接口径 | 吸气口 | NW40 | NW50 | ISO80 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | |
| 排气口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW50 | ||
| 极限压力时功率概值 | 极限压力时功率概值 | kW | 2.9 (50Hz) 3.2 (60Hz) |
2.6 (50Hz) 2.9 (60Hz) |
5.2 (50Hz) 5.8 (60Hz) |
3.6 (50Hz) 4.0 (60Hz) |
3.6 (50Hz) 4.0 (60Hz) |
4.2 | 4.2 | 4.9 | 4.9 | 3.2 (50Hz) 3.4 (60Hz) |
6.6 (50Hz) 7.3 (60Hz) |
5.1 (50Hz) 6.7 (60Hz) |
7.4 |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 14~17 (4.6) | 17~20 (3.8) | 34~40 | 24~27 (4.7) | 24~27 (4.7) | 54~57 | 54~57 | 54~57 | 54~45 | 17~20 (3.8) | 7.5~10.5 | 8.5~11 | 8.5~11 |
| 电源相/电压/频率 | 200V机型 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
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| 400V机型 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
- | ||
| 460V机型 | 三相/440V/50Hz 三相/440-480V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/440V/50Hz 三相/440-480V/60Hz |
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| 质量概值 | 质量概值 | kg | 240 | 240 | 480 | 380 | 380 | 400 | 400 | 400 | 400 | 410 | 700 | 750 | 1200 |
