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EAC型

固定磨料提供出色的抛光/去除性能，边缘控制功能

  • 出色的抛光/去除性能，使用固定磨料
  • 设备表面无接触概念
  • 斜面轮廓控制能力
  • 广泛/灵活的抛光区域覆盖
  • 符合SEMI-S2/CE标准
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产品介绍
  • EAC型号是一种斜面抛光系统，通过抛光半导体晶圆边缘的斜面以及顶部边缘和背面边缘，去除缺陷和不需要的膜。固定磨料允许物理抛光，无需选择抛光目标。配方可控的抛光头还可以实现晶圆边缘形状的高精度控制。

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