优化腔体排气/废气处理过程,降低集成和管理成本
低功耗干式真空泵,适用于高负载应用的理想性能。
低氮氧化物排放和丰富反应副产品措施的燃烧式废气处理系统,降低维护成本。
燃烧型废气处理系统,提供对可燃气体和全氟化碳(PFCs)的高效处理