干式真空泵

干式真空泵是非接触式真空泵，不使用油或液体进行密封。它们实现了无回流或水和油扩散的清洁真空。此外，不需要定期维护，如补充或更换水或油，操作非常简单。它是

半导体制造过程以及强调清洁度的FPD/LED/太阳能电池制造过程中的不可或缺的泵。近年来，它们的应用范围扩大，因为它允许从质谱仪和电子显微镜等分析仪中轻松、清洁地排出气体。此外，由于清洁真空和方便的维护，它们正在被引入各种应用，如真空干燥过程和薄膜沉积过程。

1. 无油、清洁真空
2. 可以从大气压力达到高真空
3. 不需要定期维护，如补充或更换水或油

荏原的干式真空泵以其能效和小巧的尺寸为特点，广泛应用于各个领域。
独特的优化转子设计提高了压缩效率，实现了低功耗。由于其紧凑和轻便的设计，可以在有限的空间内安装，且易于搬迁。 我们已在全球发货超过200,000台*，并在各个领域活跃，主要是在对性能和可靠性要求严格的半导体行业。

此外，我们在全球拥有超过50个服务网点，提供可靠的全球支持。您可以从我们丰富的产品系列中选择最合适的车型，从行业标准最高的紧凑轻便型号，到氢气排放型号，以及与产生反应性副产品的工艺兼容的高负载兼容型号。

*截至2020年9月