半导体制造装置

计算机、智能手机、家用电器、车辆、医疗设备和其他半导体技术支持着我们日常生活中不可或缺的各种设备。半导体制造工艺的精度日益提高，加工设备需要提供纳米级的加工精度。通过结合各种先进技术制造的高精度加工设备支持半导体的演变。

1. 需要微米（um）和纳米（nm）级精度加工的专业加工设备
2. 结合各种技术的高端制造设备

荏原的半导体制造设备通过尖端技术和可靠性提高半导体制造的生产力。我们多样化的产品系列包括CMP装置，其独特的结构提供高操作率和吞吐量，灵活的斜面抛光设备提供高性能的抛光和缺陷去除性能，以及允许高吞吐量和灵活性系统配置的电镀系统。