真空干燥因其高干燥效率和由于热量而不改变物体的特性而广泛应用于化学和工业产品的制造过程中。真空干燥设备如真空烘箱用于制造各种产品的过程，例如锂离子电池材料、线圈、电子元件如印刷电路板和液晶面板的玻璃基板、金属加工部件以及金属等材料。 荏原的干式真空泵不使用油或水，因此不会污染物体，我们丰富的产品系列可以处理从小腔体到大腔体的各种干燥过程。
小型空气冷却干式真空泵，适合大气抽取
用于抽取氢气和其他轻气体以及大腔体的高速抽气的干式真空泵
