半导体制造

半导体技术为我们日常生活中不可或缺的各种设备提供动力，包括计算机、智能手机、家用电器、车辆和医疗设备。半导体的制造需要大量的工艺，包括刻蚀、清洗、薄膜形成、离子注入和平整。荏原的尖端技术支持半导体制造现场，这些现场每天都在变得更加微型化和高效。

• 干式真空泵：用于半导体前处理和后处理的真空加工设备，如CVD、刻蚀和离子注入。
• 废气处理设备：处理半导体制造过程中产生的有害气体。
• 臭氧水生产设备：晶圆清洗、光刻胶去除。
• CMP装置：平坦化处理。