在各种产品的制造过程中，包括化学品、材料和电子元件，会产生有害气体。废气治理系统采用多种方法，包括燃烧和催化，来解毒有害气体。近年来，从环境保护的角度来看，废气处理设备的需求有所增加。 荏原的废气处理设备有多种型号，针对待处理气体和使用环境量身定制，包括能够高效处理多种可燃气体的燃烧型和不需要燃料或废水处理的干式设备。它们被广泛应用于半导体制造等多个行业。
低氮氧化物和丰富的反应副产品降低了维护成本，燃烧型废气处理设备
高效处理可燃气体和温室气体（PFCs气体），燃烧型废气处理设备
高效安全地处理PFCs气体，无需废水处理，干式废气处理设备
干式解毒设备，用于处理砷和磷等有毒物质，无需废水处理
