近年来，世界许多国家已宣布其实现“碳中和”的意图，旨在将温室气体净排放总量减少至零，日本也设定了具体的数字目标。碳中和也是半导体行业的重要关键词，环保和可持续的半导体制造技术变得越来越重要。作为其中一家公司，荏原集团正在通过其商业活动实现碳中和，并采取各种方法开发环保产品。
我们正在努力使干式真空泵（我们组件业务的主要产品）更小、更轻、更省电，并通过减少燃料消耗、消除化石燃料和改善温室气体分解性能，减少废气处理设备的环境影响。此外，我们正在通过为EUV废气系统建立氢能再利用系统来研究资源的高效利用。在CMP业务中，我们正在努力减少电力消耗和公用事业使用，在其他业务中，我们正在开发和扩展销售新型晶圆电镀设备，该设备使用的纯水显著减少，以及基本不需要化学溶液或工艺气体的晶圆倒角抛光设备。
我们还在自己的工厂积极采用可再生能源，在藤泽工厂，我们在工厂屋顶安装了太阳能电池板，以减少环境影响。荏原集团将继续加快实现碳中和的努力，旨在实现可持续发展目标（SDGs）。
