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"干式真空泵"真空技术创造了一个清洁的环境


"干式真空泵"创造了半导体制造所需的真空空间

当你听到"真空"这个词时，你会想象什么？你可能会想象"虚无和空旷"，就像外太空一样。利用真空技术的产品存在于多个领域，从如今对我们日常生活不可或缺的智能手机和个人电脑等电子设备，到日常生活中使用的真空保温瓶，再到用于前沿物理实验的粒子加速器。在这些产品中，真空在半导体制造中尤为重要。

在处理作为半导体基板的晶圆的过程中，使用真空泵从称为腔体的处理空间中去除空气，以防止杂质（气体分子等）进入。在这种情况下，需要的是干式真空泵，由精密机械公司处理。它具有从空间中去除气体分子的功能，其结构在气体接触区域不使用油，因此不必担心因回流或水或油的扩散而造成的污染，可以获得清洁的真空。MHI于1986年开始销售干式真空泵，目前在全球市场中占有第二大份额。在全球拥有超过50个服务网点和可靠的全球支持系统，我们得到了世界各地许多公司的支持。