冷却器

冷却器是一种用于制造过程中的冷却目的的设备。
这里介绍的冷却器作为辅助设备应用于冷却半导体制造设备和FPD制造设备。它们用于温度控制，例如在溅射和蚀刻过程中的阶段冷却，并要求具有高度准确的温度稳定性。

随着我们先进的信息化社会的快速发展，半导体制造过程所承受的负荷正在增加，以响应对内存堆数量增加和加工精度提高等要求。设备单元数量、每个设备单元的腔室数量以及附加到制造设备上的设备数量都在增加。近年来，对紧凑型、高输出和能有效利用空间的冷却器的需求稳步上升。此外，随着针对全球变暖的CFC法规变得更加严格，对环保产品的要求也在扩大。

*全球变暖潜力

荏原冷却器的强项包括紧凑的尺寸、高冷却输出和高精度，因此预计将在各个领域得到应用。荏原独特的SSPD紧凑泵的使用使得减少占地面积成为可能。它们具有紧凑的设计和高输出，可以在有限的空间内支持灵活的布局，并通过精确的温度控制提高工艺稳定性。它们使用低GWP制冷剂可以减少环境影响，并降低泄漏事件的风险程度。通过低温冷却实现的更短冷却时间可以有助于提高产量。