株式会社荏原製作所

 

　 荏原は、 半導体や液晶パネルなどの製造過程において排出されるＰＦＣガスを、水を使わずに分解、除去できるＦ固定式排ガス処理装置の開発、実証試験を終了し、量産を開始しました 。

　 電子部品製造におけるドライエッチング工程などで使用されるＰＦＣ（パーフルオロコンパウンド）ガスは、携帯電話やパソコン、薄型テレビなどの生産拡大にともない使用量が増加しています。PFCガスは地球温暖化への影響において、その温室効果がＣＯ２の約1万倍と非常に高いことから、電子部品メーカーはその排出削減に積極的に取り組んでいます 。
　 従来のＰＦＣガス処理装置においては、ＰＦＣガスを分解処理した際に発生するフッ素は、後段の水スクラバーで水に溶け込ませて回収され、別途設置された排水処理設備により分離処理されていました 。

　 荏原が開発したＦ固定式排ガス処理装置は、ＰＦＣガスを触媒作用により分解するとともに、発生したフッ素を処理剤にフッ化カルシウムとして固定します。このため、スクラバー水や排水処理設備は必要なく、処理水の河川等への放流もなくなります。さらに、既存の工場においてＰＦＣガスの処理を行いたい場合に、給/排水が不要なため容易に設置ができるという特長があります 。
　 処理剤については京セラ（株）の材料技術も取入れ、ＰＦＣガス除去率９９％以上の高い除去性能が得られる装置です。また、この装置1台あたりの効果をＣＯ２に換算した場合、約２０００トン／年という大きな地球温暖化削減効果があります。さらにガス処理後に生成されたフッ化カルシウムは、再利用することが可能であり、廃棄物削減にも寄与します。将来的には純度を上げ、ＨＦ製造の原料とすることにもチャレンジしていきたいと考えております 。

 

　 Ｆ固定式排ガス処理装置は、半導体量産工場である（株）東芝セミコンダクター社／四日市工場において実証試験を終了し、高いＰＦＣ除去性能を確認しました。現在、本装置の量産展開が進んでおり、順次稼動を開始しています。また、その他のユーザにおいても導入が進められています 。
　 本装置の提供により、新設工場はもとより既設工場も含めたＰＦＣガスの排出削減に、大きく貢献するものと考えております。

 

　 荏原は、「水と空気と環境の分野で広く社会に貢献する」ために、今後も地球温暖化防止や水資源保全に資する製品開発に取り組んでいきます。　

　

 

 

 

 

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