株式会社荏原製作所

荏原は、この度社団法人日本機械工業連合会が主催する、第27回(平成18年度）優秀省エネルギー機器表彰において、広域回転数制御型多段ドライ真空ポンプ（ESRシリーズ）が「日本機械工業連合会会長賞」を受賞しました。

半導体製造ラインにおける、ドライ真空ポンプの使用台数は、一般的に数百台規模と多く、しかも24時間連続稼動しているためドライ真空ポンプへの省エネルギー化の要求は益々高まっています。

弊社では1996年に省エネルギー型ドライ真空ポンプとしてAAシリーズを開発し一般販売しました。今回、更なる省エネルギー化の市場要求に応えるため、ESRシリーズを開発し2003年4月より販売を開始しました。

ESRシリーズは、内部構造の改善により圧縮動力を低減させることで、消費電力を従来のAAシリーズに比べ最大で60%削減でき、消費電力だけでなく冷却水やN2などの消費量も削減しトータルのユーティリティコスト削減を行っています。

また、回転数制御方式を改良しアイドリング運転機能を追加することで、待機運転時に回転を落とす運転が可能となりました。その結果AAシリーズと比べ消費電力を最大80%削減することができ、広域回転数制御により1機種で広範囲の排気速度をカバーできるため機種の削減にもなっています。

2006年末現在で約5000台のＥＳＲが世界各国の半導体製造工場で稼動しています。

 

以上

ニュースリリースへのお問い合わせ