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2005年11月29日
株式会社 荏原製作所

SEMICON JAPAN 2005出展のお知らせ

 冬の到来とともに、SMICON JAPANがいよいよ開催されます。

 エバラは “ 新たなる「実現」解の到来 「Advents of Enabling Solution」 ” をテーマに ドライポンプ・CMP装置・ベベル研磨装置・Cuめっき装置・バンプめっき装置・排ガス処理装置などをご紹介します。

ドライポンプで業界随一の実績を誇るエバラが、さらにラインナップを充実し、あらゆるプロセス条件に対応しました。

 当日は実機、パネルなど多数用意してみなさまのご来場をお待ちしております。

開催期間 平成17年12月7日(水)〜9日(金) 10:00〜17:00
会場 日本コンベンションセンター・幕張メッセ 6号館
千葉市美浜区中瀬2−1 
ブース番号 6B−601
出 展 物
(荏原製作所
) 
ドライ真空ポンプ  実機・パネル
ターボ分子ポンプシリーズ 実機・パネル
ベベル研磨装置 EAC300bi  パネル
NEW CMP装置 パネル
ふっ酸分離濃縮装置 パネル
D/R/Oシステム パネル
オゾン水製造装置  パネル
Cuめっき装置 E☆REX300 パネル
バンプめっき装置 UFPseries パネル
ドライポンプ一体型排ガス処理装置  パネル
触媒式排ガス処理装置 GCR パネル
燃焼式排ガス処理装置 GDC-S パネル
電子ビーム検査装置 EBeye300 パネル
SEMICON JAPANのHP http://www.semi.org/sj05
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