| 開催期間 | 平成17年12月7日(水)〜9日(金) 10:00〜17:00 | |
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| 会場 | 日本コンベンションセンター・幕張メッセ 6号館 千葉市美浜区中瀬2−1 |
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| ブース番号 | 6B−601 | |
| 出 展 物 (荏原製作所) |
ドライ真空ポンプ | 実機・パネル | ターボ分子ポンプシリーズ | 実機・パネル |
| ベベル研磨装置 EAC300bi | パネル | |
| NEW CMP装置 | パネル | |
| ふっ酸分離濃縮装置 | パネル | |
| D/R/Oシステム | パネル | |
| オゾン水製造装置 | パネル | |
| Cuめっき装置 E☆REX300 | パネル | |
| バンプめっき装置 UFPseries | パネル | |
| ドライポンプ一体型排ガス処理装置 | パネル | |
| 触媒式排ガス処理装置 GCR | パネル | |
| 燃焼式排ガス処理装置 GDC-S | パネル | |
| 電子ビーム検査装置 EBeye300 | パネル | |
| SEMICON JAPANのHP | http://www.semi.org/sj05 | |


