ドライ真空ポンプ“VOSシリーズ”

VOSシリーズはプロセス装置内臓やCR内のわずかなスペースの有効利用を目的とし、ロードロック室・SEMや絶縁膜エッチングプロセスまでのアプリケーションを対象に新規設計された超小型・軽量・装置搭載対応用のドライポンプです。

型式	VOS100	VOS100P
排気速度(L/min)	1800	1700
外形寸法（mm）	L450×W230×H274
*アプリケーション	ロードロック・SEM・スパッタリング・その他クリーン真空排気等	絶縁膜エッチング・アッシャー等

注記
*	"P"タイプはN2供給パージ機構を標準装備しています。

特長

1. 軽負荷プロセスに最適
2. 排気速度比で業界最小・軽量・65%減
   (当社AA20面積比)
3. 装置内臓・段積み設置可能
4. 低ランニングコスト・省エネルギー・60%減
   (当社AA型シリーズ比)
5. 軸シールN₂不要（VOS100)
6. 高速排気時間達成
7. 高性能通信機能搭載

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